1、表面缺陷测试 测试方法：光学表面缺陷分析仪原理：采用激光扫描样品表面，在缺陷部位信噪比增强，通过结合亮场、暗场、偏光和微分等通道，对各类缺陷进行统计分析。应用：检测表面缺陷、凹坑、脏污、划痕、应力、膜厚等。灵敏度：测量缺陷灵敏度可达70nm PSL（@smooth Si），150nm PSL（@smooth Glass）。
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希望本篇文章《德国确诊48582例?德国确诊病例破万》能对你有所帮助！
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